Працэс паравой стэрылізацыі складаецца з некалькіх этапаў.
1. Паравы стэрылізатар - гэта закрытая ёмістасць з дзвярыма, і для загрузкі матэрыялаў неабходна адкрыць дзверы для загрузкі. Дзверы паравога стэрылізатара прызначаны для чыстых памяшканняў або сітуацый з біялагічнай небяспекай, каб прадухіліць забруджванне або другаснае забруджванне прадметаў і навакольнага асяроддзя
2 Папярэдні падагрэў заключаецца ў тым, што стэрылізацыйная камера паравога стэрылізатара накрываецца паравой кашуляй. Калі паравы стэрылізатар запускаецца, кашуля напаўняецца парай для папярэдняга нагрэву стэрылізацыйнай камеры для захоўвання пары. Гэта дапамагае скараціць час, неабходны паравым стэрылізатарам для дасягнення неабходнай тэмпературы і ціску, асабліва калі стэрылізатар трэба выкарыстоўваць паўторна або калі вадкасць неабходна стэрылізаваць.
3. Працэс выпуску і ачысткі стэрылізатара з'яўляецца ключавым фактарам пры выкарыстанні пара для стэрылізацыі для выдалення паветра з сістэмы. Калі ёсць паветра, ён утворыць тэрмічнае супраціў, што паўплывае на нармальную стэрылізацыю пара да змесціва. Некаторыя стэрылізатары наўмысна пакідаюць трохі паветра, каб панізіць тэмпературу, і ў гэтым выпадку цыкл стэрылізацыі зойме больш часу.