Proces parní sterilizace se skládá z několika kroků.
1. Parní sterilizátor je uzavřená nádoba s dvířky a vkládání materiálů musí otevřít dvířka pro vkládání. Dveře parního sterilizátoru jsou pro čisté prostory nebo situace s biologickým nebezpečím, aby se zabránilo kontaminaci nebo sekundárnímu znečištění předmětů a životní prostředí
2 Předehřívání spočívá v tom, že sterilizační komora parního sterilizátoru je pokryta parním pláštěm. Když je parní sterilizátor spuštěn, plášť se naplní párou, aby se sterilizační komora předehřála, aby se uchovala pára. To pomáhá zkrátit dobu, kterou potřebuje parní sterilizátor k dosažení požadované teploty a tlaku, zejména pokud je nutné sterilizátor znovu použít nebo pokud je třeba sterilizovat kapalinu.
3. Proces odsávání a proplachování sterilizátoru je klíčovým faktorem při použití páry ke sterilizaci k odstranění vzduchu ze systému. Pokud je tam vzduch, vytvoří tepelný odpor, který ovlivní normální sterilizaci páry k obsahu. Některé sterilizátory záměrně nechávají trochu vzduchu, aby snížily teplotu, v takovém případě bude sterilizační cyklus trvat déle.