Sterilizacijos garais procesas susideda iš kelių etapų.
1. Garų sterilizatorius yra uždaras indas su durelėmis, o pakraunant medžiagas reikia atidaryti dureles, kad būtų galima pakrauti. Garų sterilizatoriaus durelės skirtos švarioms patalpoms arba situacijoms, kuriose yra biologinis pavojus, kad būtų išvengta daiktų užteršimo ar antrinio užteršimo. ir aplinka
2 Išankstinis pašildymas yra tai, kad garų sterilizatoriaus sterilizavimo kamera yra uždengta garų apvalkalu. Kai paleidžiamas garų sterilizatorius, striukė užpildoma garais, kad sterilizavimo kamera iš anksto pašildytų garus. Tai padeda sutrumpinti laiką, per kurį garų sterilizatorius pasiekia reikiamą temperatūrą ir slėgį, ypač jei sterilizatorių reikia naudoti pakartotinai arba jei reikia sterilizuoti skystį.
3. Sterilizatoriaus išmetimo ir išvalymo ciklas yra pagrindinis dalykas, kai sterilizavimui naudojami garai orui pašalinti iš sistemos. Jei yra oro, jis sudarys šiluminę varžą, kuri turės įtakos normaliam garų sterilizavimui su turiniu. Kai kurie sterilizatoriai specialiai palieka šiek tiek oro, kad sumažintų temperatūrą. Tokiu atveju sterilizavimo ciklas užtruks ilgiau.