Tvaika sterilizācijas process sastāv no vairākiem posmiem.
1. Tvaika sterilizators ir slēgts konteiners ar durvīm, un, iekraujot materiālus, ir jāatver durvis iekraušanai.Tvaika sterilizatora durvis ir paredzētas tīrām telpām vai situācijām ar bioloģisku apdraudējumu, lai novērstu priekšmetu piesārņošanu vai sekundāru piesārņojumu. un vidi
2 Iepriekšēja uzsildīšana ir tāda, ka tvaika sterilizatora sterilizācijas kamera ir pārklāta ar tvaika apvalku. Kad tiek iedarbināts tvaika sterilizators, apvalks ir piepildīts ar tvaiku, lai uzsildītu sterilizācijas kameru, lai uzglabātu tvaiku. Tas palīdz samazināt laiku, kas nepieciešams tvaika sterilizatoram, lai sasniegtu nepieciešamo temperatūru un spiedienu, īpaši, ja sterilizators ir jāizmanto atkārtoti vai šķidrums ir jāsterilizē.
3. Sterilizatora izplūdes un iztukšošanas cikla process ir galvenais apsvērums, izmantojot tvaiku sterilizācijai, lai izvadītu no sistēmas gaisu. Ja ir gaiss, tas veidos termisko pretestību, kas ietekmēs normālu tvaika sterilizāciju uz saturu. Daži sterilizatori ar nolūku atstāj nedaudz gaisa, lai pazeminātu temperatūru, un tādā gadījumā sterilizācijas cikls prasīs ilgāku laiku.