Proces parnej sterilizácie pozostáva z niekoľkých krokov.
1. Parný sterilizátor je uzavretá nádoba s dvierkami a na vkladanie materiálov je potrebné otvárať dvierka na vkladanie. Dvierka parného sterilizátora sú určené pre čisté priestory alebo situácie s biologickým nebezpečenstvom, aby sa zabránilo kontaminácii alebo sekundárnemu znečisteniu predmetov a životné prostredie
2 Predohrev spočíva v tom, že sterilizačná komora parného sterilizátora je pokrytá parným plášťom. Keď sa parný sterilizátor spustí, plášť sa naplní parou, aby sa predhriala sterilizačná komora na uskladnenie pary. Pomáha to skrátiť čas, ktorý parný sterilizátor potrebuje na dosiahnutie požadovanej teploty a tlaku, najmä ak je potrebné sterilizátor znovu použiť alebo ak je potrebné sterilizovať kvapalinu.
3. Proces odsávania a čistenia sterilizátora je kľúčovým faktorom pri použití pary na sterilizáciu na odstránenie vzduchu zo systému. Ak je tam vzduch, vytvorí tepelný odpor, ktorý ovplyvní normálnu sterilizáciu pary k obsahu. Niektoré sterilizátory zámerne nechávajú vzduch, aby znížili teplotu, v takom prípade bude sterilizačný cyklus trvať dlhšie.