Postopek parne sterilizacije je sestavljen iz več korakov.
1. Parni sterilizator je zaprta posoda z vrati, pri nalaganju materialov pa je treba odpreti vrata za nalaganje. Vrata parnega sterilizatorja so za čiste prostore ali situacije z biološkimi nevarnostmi, da se prepreči kontaminacija ali sekundarno onesnaženje predmetov in okolje
2 Predgretje pomeni, da je sterilizacijska komora parnega sterilizatorja prekrita s parnim plaščem.Ko se parni sterilizator zažene, se plašč napolni s paro, da se sterilizacijska komora predhodno segreje za shranjevanje pare.To pomaga skrajšati čas, ki ga potrebuje parni sterilizator, da doseže zahtevano temperaturo in tlak, zlasti če je treba sterilizator ponovno uporabiti ali če je treba sterilizirati tekočino.
3. Pri uporabi pare za sterilizacijo za odstranjevanje zraka iz sistema sta ključna dejavnika izpušni proces sterilizatorja in postopek čiščenja.Če je zrak, bo ustvaril toplotni upor, ki bo vplival na normalno sterilizacijo pare v vsebino.Nekateri sterilizatorji namerno pustijo nekaj zraka, da znižajo temperaturo, v tem primeru bo cikel sterilizacije trajal dlje.