โดยทั่วไป เพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพการทำความร้อนและลดระยะเวลาการฆ่าเชื้อให้สั้นลง ยิ่งอุณหภูมิในการฆ่าเชื้อสูงขึ้นเท่าไร ระยะเวลาในการฆ่าเชื้อก็จะสั้นลงเท่านั้นการตรวจจับอุณหภูมิไอน้ำมักจะมีความไม่สม่ำเสมอในระดับหนึ่งในขณะเดียวกันก็มีฮิสเทรีซิสและความเบี่ยงเบนในการตรวจจับอุณหภูมิเมื่อพิจารณาว่าอุณหภูมิและความดันของไอน้ำอิ่มตัวมีความสอดคล้องกันแบบหนึ่งต่อหนึ่ง การตรวจจับแรงดันไอน้ำจึงสม่ำเสมอและรวดเร็วยิ่งขึ้นดังนั้นจึงใช้แรงดันไอน้ำในการฆ่าเชื้อของเครื่องฆ่าเชื้อเป็นพื้นฐานในการควบคุม และใช้การตรวจจับอุณหภูมิในการฆ่าเชื้อเป็นการรับประกันความปลอดภัย
ในการใช้งานจริง บางครั้งอุณหภูมิไอน้ำและอุณหภูมิในการฆ่าเชื้อจะแตกต่างกันในด้านหนึ่ง เมื่อไอน้ำมีน้ำควบแน่นมากกว่า 3% (ความแห้งคือ 97%) แม้ว่าอุณหภูมิของไอน้ำจะถึงมาตรฐานก็ตาม เนื่องจากการขัดขวางการถ่ายเทความร้อนโดยน้ำควบแน่นที่กระจายอยู่บนพื้นผิวของไอน้ำ ในผลิตภัณฑ์ไอน้ำที่ไหลผ่านฟิล์มน้ำควบแน่นจะมีอุณหภูมิลดลงค่อยๆ ลดลงเพื่อให้อุณหภูมิในการฆ่าเชื้อที่แท้จริงของผลิตภัณฑ์ต่ำกว่าข้อกำหนดอุณหภูมิในการฆ่าเชื้อโดยเฉพาะน้ำในหม้อต้มที่ลำเลียงโดยหม้อต้ม คุณภาพน้ำอาจปนเปื้อนกับผลิตภัณฑ์ที่ผ่านการฆ่าเชื้อแล้วดังนั้นจึงมักจะมีประสิทธิภาพมากในการใช้เครื่องแยกไอน้ำ-น้ำประสิทธิภาพสูงวัตต์ DF200 ที่ช่องไอน้ำ
ในทางกลับกัน การมีอยู่ของอากาศจะส่งผลเพิ่มเติมต่ออุณหภูมิในการฆ่าเชื้อของไอน้ำเมื่ออากาศในตู้ไม่ได้ถูกกำจัดออกหรือกำจัดออกไม่หมด ในด้านหนึ่ง การมีอยู่ของอากาศจะเกิดจุดเย็นทำให้ผลิตภัณฑ์ที่ติดอยู่กับอากาศไม่สามารถฆ่าเชื้อได้อุณหภูมิของแบคทีเรียในทางกลับกัน โดยการควบคุมความดันไอเพื่อควบคุมอุณหภูมิ การมีอยู่ของอากาศจะสร้างแรงดันบางส่วนในขณะนี้ ความดันที่แสดงบนเกจวัดความดันคือความดันรวมของก๊าซผสม และแรงดันไอน้ำจริงต่ำกว่าข้อกำหนดแรงดันไอน้ำในการฆ่าเชื้อดังนั้นอุณหภูมิไอน้ำจึงไม่ตรงตามข้อกำหนดอุณหภูมิในการฆ่าเชื้อ ส่งผลให้การฆ่าเชื้อล้มเหลว
ความร้อนยิ่งยวดของไอน้ำเป็นปัจจัยสำคัญที่ส่งผลต่อการฆ่าเชื้อด้วยไอน้ำ แต่มักถูกมองข้ามไปEN285 กำหนดให้ความร้อนยวดยิ่งของไอน้ำฆ่าเชื้อไม่ควรเกิน 5°Cหลักการของการฆ่าเชื้อด้วยไอน้ำอิ่มตัวคือไอน้ำจะควบแน่นเมื่อผลิตภัณฑ์เย็น โดยปล่อยพลังงานความร้อนแฝงจำนวนมาก ซึ่งจะทำให้อุณหภูมิของผลิตภัณฑ์เพิ่มขึ้นเมื่อควบแน่น ปริมาตรจะลดลงอย่างรวดเร็ว (1/1600) และยังสามารถสร้างแรงดันลบเฉพาะที่ ทำให้ไอน้ำที่ตามมาเข้าไปลึกเข้าไปในสิ่งของ
คุณสมบัติของไอน้ำร้อนยวดยิ่งเทียบเท่ากับอากาศแห้ง แต่ประสิทธิภาพการถ่ายเทความร้อนต่ำกว่าในทางกลับกัน เมื่อไอน้ำร้อนยวดยิ่งปล่อยความร้อนสัมผัสได้และอุณหภูมิลดลงต่ำกว่าจุดอิ่มตัว การควบแน่นจะไม่เกิดขึ้น และความร้อนที่ปล่อยออกมาในเวลานี้มีน้อยมากการถ่ายเทความร้อนไม่เป็นไปตามข้อกำหนดในการฆ่าเชื้อปรากฏการณ์นี้จะเห็นได้ชัดเมื่อมีความร้อนเกิน 5°Cไอน้ำร้อนเกินไปอาจทำให้สิ่งของมีอายุอย่างรวดเร็ว
หากไอน้ำที่ใช้เป็นไอน้ำแบบเครือข่ายความร้อนที่ใช้ในการผลิตกระแสไฟฟ้า ก็จะเป็นไอน้ำร้อนยวดยิ่งในตัวมันเองในหลายกรณี แม้ว่าหม้อไอน้ำในตัวเองจะผลิตไอน้ำอิ่มตัว แต่การบีบอัดไอน้ำที่ด้านหน้าเครื่องฆ่าเชื้อนั้นเป็นการขยายตัวแบบอะเดียแบติก ทำให้ไอน้ำอิ่มตัวดั้งเดิมกลายเป็นไอน้ำร้อนยวดยิ่งผลกระทบนี้จะปรากฏชัดเมื่อความแตกต่างของแรงดันเกิน 3 บาร์หากความร้อนยวดยิ่งเกิน 5°C ควรใช้อุปกรณ์ไอน้ำอิ่มตัวในอ่างวัตต์เพื่อกำจัดความร้อนยวดยิ่งได้ทันเวลา
การออกแบบไอน้ำของเครื่องอบฆ่าเชื้อประกอบด้วยช่องไอน้ำเข้าพร้อมตัวกรองไอน้ำพิเศษ เครื่องแยกไอน้ำ-น้ำประสิทธิภาพสูง วาล์วควบคุมแรงดันไอน้ำ และตัวดักไอน้ำ