ประการแรก การบำบัดน้ำเป็นส่วนสำคัญของหลักการของเครื่องกำเนิดไอน้ำสะอาดในขั้นตอนนี้ น้ำจะไหลผ่านอุปกรณ์บำบัดเบื้องต้น เช่น ตัวกรอง สารปรับผ้านุ่ม ฯลฯ เพื่อกำจัดสารแขวนลอย ของแข็งที่ละลาย และสารที่มีความกระด้าง เพื่อรับรองความบริสุทธิ์ของน้ำเฉพาะน้ำที่ผ่านการบำบัดแล้วเท่านั้นที่สามารถเข้าสู่ขั้นตอนต่อไปเพื่อให้มั่นใจในคุณภาพของไอน้ำ
ต่อไปคือกระบวนการผลิตไอน้ำในเครื่องกำเนิดไอน้ำสะอาด น้ำจะถูกทำให้ร้อนจนถึงจุดเดือดเพื่อสร้างไอน้ำโดยปกติกระบวนการนี้จะดำเนินการได้สำเร็จโดยใช้อุปกรณ์ทำความร้อน เช่น เครื่องทำความร้อนไฟฟ้าหรือหัวเตาแก๊สในระหว่างกระบวนการทำความร้อน สิ่งเจือปนและสารที่ละลายในน้ำจะถูกแยกออก ทำให้เกิดไอน้ำที่มีความบริสุทธิ์สูงในเวลาเดียวกัน เครื่องกำเนิดไอน้ำสะอาดยังรับประกันความเสถียรและความปลอดภัยของไอน้ำด้วยการควบคุมอุณหภูมิและแรงดันความร้อน
ขั้นตอนสุดท้ายคือกระบวนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยไอน้ำในเครื่องกำเนิดไอน้ำสะอาด ไอน้ำจะไหลผ่านอุปกรณ์ทำให้บริสุทธิ์ เช่น เครื่องแยก ตัวกรอง และเครื่องลดความชื้น เพื่อขจัดอนุภาคขนาดเล็ก สิ่งเจือปน และความชื้นอุปกรณ์เหล่านี้สามารถกรองอนุภาคของแข็งและหยดของเหลวในไอน้ำได้อย่างมีประสิทธิภาพ ช่วยเพิ่มความบริสุทธิ์และความแห้งของไอน้ำด้วยกระบวนการทำให้บริสุทธิ์ เครื่องกำเนิดไอน้ำสะอาดสามารถผลิตไอน้ำคุณภาพสูงเพื่อตอบสนองความต้องการของอุตสาหกรรมและห้องปฏิบัติการต่างๆ
ดังนั้นเครื่องกำเนิดไอน้ำสะอาดจึงสามารถแปลงน้ำให้เป็นไอน้ำที่มีความบริสุทธิ์สูง ปราศจากสิ่งเจือปน และมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านต่างๆเครื่องกำเนิดไอน้ำสะอาดมีบทบาทสำคัญในกระบวนการควบคุมสภาพแวดล้อมการผลิต เช่น การทำความชื้นในโรงงานและโรงปฏิบัติงานที่มีความสะอาดสูง เช่น อาหาร เครื่องดื่ม อุตสาหกรรมยา การประมวลผลทางอิเล็กทรอนิกส์แบบครบวงจร และกระบวนการอื่นๆ ทำให้มีทรัพยากรไอน้ำที่เชื่อถือได้สำหรับทุกสาขาอาชีพ