Buhar sterilizasyonu işlemi birkaç adımdan oluşur.
1. Buhar sterilizatörü, kapısı olan kapalı bir kaptır ve malzemelerin yüklenmesi için kapının açılması gerekir. Buhar sterilizatörünün kapısı, öğelerin kontaminasyonunu veya ikincil kirlenmesini önlemek için temiz odalar veya biyolojik tehlike içeren durumlar içindir. ve çevre
2 Ön ısıtma, buhar sterilizatörünün sterilizasyon odasının bir buhar ceketi ile kaplanmasıdır.Buharlı sterilizatör başlatıldığında, buhar depolamak amacıyla sterilizasyon odasını önceden ısıtmak için ceket buharla doldurulur.Bu, özellikle sterilizatörün yeniden kullanılması gerekiyorsa veya sıvının sterilize edilmesi gerekiyorsa, buhar sterilizatörünün gerekli sıcaklık ve basınca ulaşması için gereken sürenin azaltılmasına yardımcı olur.
3. Sistemdeki havayı uzaklaştırmak amacıyla sterilizasyon için buhar kullanıldığında, sterilizatörün egzoz ve temizleme döngüsü prosesi en önemli husustur.Hava varsa, buharın içeriğe normal sterilizasyonunu etkileyecek bir termal direnç oluşturacaktır.Bazı sterilizatörler sıcaklığı düşürmek için bilerek bir miktar hava bırakır, bu durumda sterilizasyon döngüsü daha uzun sürer.